英國愛德華渦輪分子真空泵STP-L301C ISO100 入口
概述
Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現的性能，大的制程靈活性。英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C
STP-L301(C) 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用，并得到了認可。英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C
應用
- 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源，射束線泵送端點站
- MBE
- 擴散
- 光致抗蝕劑脫模
- 晶體/晶膜生長
- 晶片檢查
- 負載鎖真空腔
- 科學儀器：表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
- 高能物理：射束線、加速器
- 放射線應用：融合系統、回旋
功能和優勢
良好的轉子技術
大的制程靈活性
無油
低振動
高度可靠
免維護
良好的控制器設計
自動調整
自行診斷功能
直流電機驅動
無電池運行
緊湊型設計
占地面積小
半機架控制器
低振動
- 內置振動隔離系統提供了優于 STP301C 和外部隔離器的性能。
技術數據
| 入口法蘭 | ISO100，CF100 |
| 出口 | KF25 |
| 吹掃口 | KF10 |
| 抽速 | |
| N2 | 260 ls-1 |
| H2 | 290 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| He | 5 x 105 |
| H2 | 2 x 104 |
| 加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭） | 6.5 x 10-6 Pa |
| (5 x 10-8 Torr) | |
| 加熱時的極限壓力（ICF 法蘭） | 10-8 Pa |
| (10-10 Torr) | |
| 大允許進氣口壓力（環境空氣冷卻） | 6.7 x 10-2 Pa |
| (5 x 10-4 Torr) | |
| 大連續出口壓力（環境空氣冷卻） | 13 Pa |
| (0.1 Torr) | |
| 額定速度 | 48000 rpm |
| 啟動時間 | 3 min |
| 高入口法蘭溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 100 至 120 (± 10) V 交流或 |
| 200 至 240 (± 10) V 交流 | |
| 啟動時的功耗 | 0.55 kVA |
| 泵重量 | 13 kg |
| 控制器重量 | 7 kg |
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一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。
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